羅茨真空泵的工作原理,羅茨真空泵的工作原理圖

  羅茨真空泵工作時，需要被抽吸的氣體先從羅茨真空泵的吸氣口被真空泵吸入到轉子與泵體之間，這個時候羅茨真空泵的一個轉子與真空泵泵體把所抽吸的氣體與吸氣口分隔開，被分隔的氣體（參考圖2-11羅茨真空泵的工作原理圖）通過轉子連續不斷的旋轉過程中，被排到出氣口。可以查看圖2-11羅茨真空泵的工作原理圖序號（a）中，V0里面的空間是一個全封閉的狀態，所以，不會壓縮和膨脹。不過當轉子的峰部旋轉到出氣口的附近時，由于V0部分的真空度比出氣口的真空度要低，為了使相連體積里面的真空度平均，氣體就會從出氣口擴散到V0的區域，它的擴散方向和轉子的旋轉方向是不同的方向。當轉子再次轉動的時候，就會把V0的氣體壓縮到出氣口將相連部分就會吸入氣體，當轉子不停的轉動時，一直處于上述吸氣過程不停的排出吸進來的氣體。這種運行過程就等于轉子空間由莫一個zui小值增大到一個zui大值，隨后再由zui大值降低到zui小值。這就是羅茨真空泵的工作原理。

  羅茨真空泵在吸氣口壓力很小的條件下運行時，由于轉子的轉速很高通常在1000-3000r/min左右，轉子表面的線速度接近于分子的熱運動速度，這種情況下碰撞在轉子上的氣體分子被轉子一起帶到真空度較大的出氣口，再被前級泵水環真空泵排出。這就是羅茨真空泵的分子作用工作原理。

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